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重大突破!中国电子研制出我国首台半导体激光隐形晶圆切割机
近日,中国电子旗下中国长城郑州轨道交通信息技术研究院和河南通用智能装备有限公司,历时一年,联合攻关,研制成功我国首台半导体激光隐形晶圆切割机,填补国内空白。该设备在关键性能参数上处于国际领先水平,标志着我国半导体激光隐形晶圆切割技术取得实质性重大突破,对进一步提高我国智能装备制造能力具有里程碑式的意义。
넶108 2021-02-25 -
半导体晶圆(硅/玻璃/蓝宝石)激光隐形切割工艺
随着摩尔定律发展,晶圆芯粒尺寸约来越小,芯片结构约来越复杂,More than moore 方向进一步拓展了传统IC的应用,以MEMS为代表的功能芯片在硅、石英及化合物半导体的基础之上发展而来,随着结构的复杂和集成度的提升,传统的砂轮划片的震动和水洗的冲击将破坏器件的功能,使得良率下降,而现有的普通激光加工手段对表面烧蚀效应会产生崩边和溅落污染物,也影响器件的性能。激光内切结合扩片技术有效解决这一问题,形成了高端MEMS、RFID等芯片的划片必备方案
넶351 2021-02-25 -
半导体行业中的激光切割
半导体行业涉及小型电子零件和芯片的设计、开发、制造和销售。这些半导体几乎出现在我们使用的每一个现代技术设备中。我们日常使用的笔记本电脑、计算机或智能手机上,半导体都在其中发挥了重要作用。
半导体是现代社会的重要组成部分,保证从设计到这些零件的销售都应平稳运行非常重要。넶129 2021-02-25
行业解决方案
在半导体材料上与相关客户协作,共同完善现有半导体行业遇到的制程工艺问题,提供一整套的解决方案。特别针对半导体行业中晶圆片对加工过程洁净度高要求的需求,我们提出激光切割技术...
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【特色服务】半导体晶圆(硅/蓝宝石/玻璃)激光隐形切割工艺
激光隐切技术是在加工过程中将脉冲光通过光学透镜的汇聚,使其聚焦在芯片内部材料中,结合不同的功率、脉冲条件使得材料在内部进行烧蚀,破坏化学键,形成一层具有低的机械力学性能的变质层,在蓝膜的扩片作用下,使得芯片分离的一种新型加工方式,这种方式主要优点是损伤发生在芯片内部,不会影响表面的结构破坏,非常适合高端、复杂结构的划片本公司工艺调试窗口广阔, 非常适合不同厚度、不同材质半导体晶圆的切割方案,对器件无产热影响,同时切割过程中无崩边、无硅粉和碎片的风险,适合各种异形结构的切割,能够高效率的完成常规及超薄晶圆的切割任务,是晶圆加工的一种新的切割工艺。¥ 0.00立即购买
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半导体晶圆-硅切割工艺
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半导体晶圆-蓝宝石切割工艺
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半导体晶圆-玻璃切割工艺
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